Si上極薄SiO_2膜帯電のX線照射時間依存性

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概要

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• 日本金属学会の論文
• 1996-12-20

著者

• 石坂 彰利

  株式会社日立製作所中央研究所

• 岩田 誠一

  (株)日立製作所中央研究所

• 岩田 誠一

  株式会社日立製作所中央研究所

• 大路 譲

  株式会社日立製作所半導体事業部

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