21世紀に向けた半導体メモリの技術課題とロードマップ
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概要
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本論文はパネルデイスカッションの予稿である。半導体メモリはこの20年間に微細加工技術により大幅な技術革新をとげてきたが、従来からのDRAMを中心とした大容量・微細メモリの単純路線が巨大投資、技術的困難性を伴うようになり、さらにダウンサイジングの流れの中で見直しが必要となってきている。このような背景の下に各パネラーは半導体材料、プロセス、デバイス、回路、システムアプリケーションの各分野での新たなアプローチによる来たるべき21世紀へのロードマップについて述べている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-11-25
著者
-
曽根田 光生
ソニー株式会社 メディアプロセシング研究所
-
山田 順三
NTT通信エネルギー研究所
-
曽根田 光生
ソニー(株)半導体事業本部 研究部
-
大路 譲
株式会社日立製作所半導体事業部
-
大路 譲
日立製作所半導体事業部
-
堀口 文男
株式会社 東芝 半導体事業本部
-
山田 順三
NTT LSI研究所
-
山田 順三
Ntt 通信エネルギー研
-
山田 順三
Ntt
-
大路 譲
(株)半導体先端テクノロジーズ(selete)
-
伊野 昌義
沖電気工業超LSI研究開発センタ
-
酒井 芳男
日立製作所
-
堀口 文男
東芝
-
赤塚 泰生
日本電気
-
喜多川 儀久
日本Ti
-
大路 譲
半導体先端テクノロジーズ(selete)
-
伊野 昌義
沖電気工業
-
喜多川 儀久
日本テキサスインスツルメンツasm設計課
-
曽根田 光生
ソニー
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