高性能,低消費電力を目指すCMOSデバイス構造の今後の発展(<特集>極限の微細化を目指す半導体プロセス技術)

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概要

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• 社団法人精密工学会の論文
• 2008-05-05

著者

• 大路 譲

  (株)半導体先端テクノロジーズ

• 大路 譲

  (株)半導体先端テクノロジーズ(selete)

• 大路 譲

  半導体先端テクノロジーズ

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