4a-RJ-12 清浄シリコン表面へのNiSi_2膜のヘテロエピタキシー

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1984-03-12

著者

• 石坂 彰利

  株式会社日立製作所中央研究所

• 石坂 彰利

  日立中研

• 白木 靖寛

  日立中研

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