石坂 彰利 | 日立中研

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概要

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関連著者

• 石坂 彰利

  株式会社日立製作所中央研究所

• 石坂 彰利

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• 小林 啓介

  光共研

• 大門 寛

  阪大基礎工

• 大門 寛

  物性研

• 村田 好正

  物性研

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• 小林 啓介

  物性研

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著作論文

• 30p-P-7 NiySi(y=0, 0.5, 1, 1.5, 2, 2.5, 3)からの共鳴型光電子放出 II
• 2p-NM-4 Ni/Si界面電子構造-NiSiyの光電子分光
• 3a-NGH-23 NiSi_x(x=0,2/5,1/2,2/3,1/1,2/1,∞)からの共鳴型光電子放出
• 4a-M-6 Micro-Probe RHEED法による絶縁膜上での単結晶Siの成長過程の観察
• 4a-RJ-12 清浄シリコン表面へのNiSi_2膜のヘテロエピタキシー

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