DRAMキャパシターへの高誘電体薄膜の応用-課題と方向
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概要
著者
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飯島 晋平
(株)日立製作所デバイス開発センタ
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大路 譲
(株)日立製作所
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大路 譲
(株)日立製作所半導体事業部半導体技術開発センタ
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飯島 晋平
エルピーダメモリ株式会社
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浅野 勇
エルピーダメモリ(株)
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浅野 勇
(株)日立製作所デバイス開発センタ
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中西 成彦
(株)日立製作所半導体事業部半導体技術開発センタ
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