飯島 晋平 | (株)日立製作所デバイス開発センタ

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概要

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関連著者

• 飯島 晋平

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 太田 裕之

  (株)日立製作所

• 大路 譲

  (株)日立製作所

• 大路 譲

  (株)日立製作所半導体事業部半導体技術開発センタ

• 飯島 晋平

  エルピーダメモリ株式会社

• 浅野 勇

  エルピーダメモリ(株)

• 浅野 勇

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 太田 裕之

  日立機械研究所

• 中西 成彦

  (株)日立製作所半導体事業部半導体技術開発センタ

著作論文

• Ta_2O_5薄膜の結晶化に伴う機械的性質の変化
• DRAMキャパシターへの高誘電体薄膜の応用-課題と方向

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