MIMキャパシタ用電極の形成技術

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概要

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• 2002-06-06

著者

• 平谷 正彦

  (株)日立製作所 中央研究所

• 松井 裕一

  (株)日立製作所中央研究所

• 平谷 正彦

  Hitachi Europe Ltd. Whitebrook Park

• 中村 吉孝

  エルピーダメモリ株式会社

• 浅野 勇

  エルピーダメモリ株式会社

• 生田目 俊英

  (株)日立製作所

• 浅野 勇

  エルピーダメモリ(株)

• 生田目 俊秀

  (株)半導体先端テクノロジーズ(selete):(現)(独)物質・材料研究機構

• 松井 裕一

  (株)日立製作所 中央研究所

• 中村 吉孝

  エルピーダメモリ(株)

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