強誘電体薄膜表面の相分離層処理技術 : 化学処理による強誘電体薄膜表面の清浄化技術
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概要
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Pb(Zr,Ti)O3(PZT),(Ba,Sr)TiO3(BST)等のペロブスカイト強誘電体薄膜の表面劣化現象及びその劣化構造を解析した。表面は比較的容易に相分離し、誘電体特性劣化をもたらす。この相分離層は硝酸処理によりほぼ完全に除去可能で、これにより強誘電体キャパシタの特性改善が可能であることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-02-15
著者
-
嶋本 泰洋
(株)日立製作所中央研究所
-
鳥居 和功
(株)日立製作所 中央研究所
-
松井 裕一
(株)日立製作所中央研究所
-
藤崎 芳久
(株)日立製作所中央研究所
-
鳥居 和功
日立・中研
-
藤崎 芳久
(株)日立製作所
-
松井 裕一
(株)日立製作所 中央研究所
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