C1 トンネル音響顕微鏡によるPZT薄膜の観察(超音波非破壊評価)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 1993-12-07

著者

• 鳥居 和功

  日立・中研

• 三木 浩史

  (株)日立製作所中央研究所ULSI研究所

• 櫛田 恵子

  (株)日立製作所中央研究所ULSI研究所

• 高田 啓二

  日立・基礎研

• 櫛田 恵子

  日立・中研

• 三木 浩史

  日立・中研

• 入江 隆史

  日立・中研

• 高田 啓二

  日立基礎研

• 三木 浩史

  (株)日立製作所 中央研究所

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