水素還元プロセスによるPt/Pb(Zr, Ti)O_3/Ptキャパシタ電気特性の変化
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概要
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Pb(Zr, Ti)O_3キャパシタ特性の水素処理による変化を調べた。水素は、残留分極劣化と, 絶縁耐圧低下を引き起こす一方, 誘電率の劣化は顕著ではない。電極界面に生じた欠陥が帯電し, 残留分極と耐圧の劣化を引き起こすものと考えられる。さらに, 上部電極依存性の検討から, 電極材料の水素解離吸着性との相関を見い出した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-03-13
著者
-
嶋本 泰洋
(株)日立製作所中央研究所
-
三木 浩史
株式会社日立製作所中央研究所
-
嶋本 泰洋
株式会社日立製作所中央研究所
-
櫛田 恵子
株式会社日立製作所中央研究所
-
鳥居 和功
株式会社日立製作所中央研究所
-
藤崎 芳久
株式会社日立製作所中央研究所
-
鳥居 和功
日立・中研
-
三木 浩史
(株)日立製作所中央研究所ULSI研究所
-
櫛田 恵子
(株)日立製作所中央研究所ULSI研究所
-
三木 浩史
(株)日立製作所 中央研究所
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