強誘電体薄膜作製技術とプロセス技術

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 1998-10-01

著者

• 鳥居 和功

  (株)日立製作所 中央研究所

• 藤崎 芳久

  (株)日立製作所中央研究所

• 鳥居 和功

  日立・中研

• 三木 浩史

  (株)日立製作所中央研究所ULSI研究所

• 櫛田 恵子

  (株)日立製作所中央研究所ULSI研究所

• 三木 浩史

  (株)日立製作所 中央研究所

• 藤崎 芳久

  (株)日立製作所

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