PA-5 歪イメージングによるPZT薄膜の観察(P.ポスターセッションA-概要講演・展示)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 1994-11-28

著者

• 鳥居 和功

  日立・中研

• 櫛田 恵子

  (株)日立製作所中央研究所ULSI研究所

• 高田 啓二

  日立・基礎研

• 櫛田 恵子

  日立・中研

• 高田 啓二

  日立基礎研

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