温度サイクル環境におけるICプラスチックパッケージ内のシリコンチップ熱応力の検討
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概要
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The thermal stress in silicon chips encapsulated in IC plastic packages under temperature cycling was discussed. Stress-sensing chips utilizing the piezoresistive effect were used for the stress measurement. It was found that the chip stress increased gradually with increase of the number of temperature cycles between -55℃ and 150℃. The reason for this increase of the chip stress was explained by considering viscoelastic phenomena of the resin material used for the encapsulation of packages. When the holding time at 150℃ was shorter than the stress relaxation time of the resin at that temperature, this stress increase was observed. It was found analytically that this stress increase could be more than 10% when the holding time was much shorter than the stress relaxation time of the resin.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 1991-10-25
著者
-
西村 朝雄
(株)日立製作所機械研究所
-
三浦 英生
(株)日立製作所機械研究所
-
北野 誠
(株)日立製作所機械研究所
-
河合 末男
(株)日立製作所機械研究所
-
西村 朝雄
(株)日立製作所半導体グループ
-
西村 朝雄
(株)日立製作所半導体事業部
-
三浦 英生
東北大
-
西 邦彦
(株)日立製作所
-
北野 誠
株式会社日立製作所機械研究所
-
西村 朝雄
日立
-
北野 誠
(株)日立製作所
-
北野 誠
日立製作所
-
西村 朝雄
(株)日立製作所
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