(5)分子動力学法を用いたSi薄膜真性応力と微細構造の解析
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-05-05
著者
-
岩崎 富生
(株)日立製作所機械研究所
-
三浦 英生
(株)日立製作所機械研究所
-
三浦 英生
日立機械研
-
保川 彰夫
(株)日立製作所機械研究所
-
守谷 浩志
日立製作所機械研究所
-
守谷 浩志
(株)日立製作所 機械研究所
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科
-
三浦 英生
東北大
-
岩崎 富生
(株)日立製作所 機械研究所
-
岩崎 富生
(株)日立製作所
-
保川 彰夫
(株)日立製作所自動車機器グループ
-
保川 彰夫
(株)日立製作所 自動車機器グループ
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