403 分子動力学シミュレーションによる金属/ポリマー界面の密着性解析(計算力学と数値シミュレーション)
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概要
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We analyzed the adhesion energy of metal and polymer interface by using molecular dynamics simulation. We showed that the polymer skim structure on the metal film is related to the character of adhesion. By using nano-scale simulation, in this way, we can predict the adhesion properties and suggest the best materials of micro electro devices.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-28
著者
-
宮崎 真理子
日立機械研
-
斎藤 洋子
日立機械研
-
斎藤 洋子
(株)日立製作所
-
岩崎 富生
(株)日立製作所機械研究所
-
岩崎 富生
日立機械研
-
岩崎 富生
(株)日立製作所 機械研究所
-
鐘ヶ江 義晴
日立機械研
-
岩崎 富生
(株)日立製作所
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