114 微小カンチレバー試験片を用いた20nm厚Cu薄膜の弾塑性変形特性評価(変形,一般セッション)
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概要
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- 2009-05-22
著者
-
岩崎 富生
(株)日立製作所機械研究所
-
澄川 貴志
京都大学大学院
-
北村 隆行
京都大学
-
岩崎 富生
日立機械研
-
岩崎 富生
(株)日立製作所 機械研究所
-
岩崎 富生
(株)日立製作所
-
宍戸 徹也
京大
-
宍戸 徹也
京都大学[院]
-
澄川 貴志
京都大学
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