512 サブミクロン Cu 薄膜のはく離強度特性に及ぼす膜厚の影響

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概要

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• 社団法人日本材料学会の論文

著者

• 北村 隆行

  京都大学大学院工学研究科

• 北村 隆行

  京都大学

• 平方 寛之

  京大

• 平方 寛之

  京都大学工学研究科機械理工学専攻

• 平方 寛之

  京都大学大学院

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