T0301-1-6 ナノ要素配列薄膜の機械特性に及ぼす要素形状の影響(マイクロ・ナノ構造体の強度・力学特性)
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概要
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The purpose of this study is to investigate the influence of the element configuration of thin film consisting of discretely arrayed nanosized elements on mechanical characteristics. Two different thin films consisting of Ta_2O_5 helical nanoelements (nanosprings) are prepared and two types of crack initiation experiments, which possess radically different stress conditions, are carried out. The finite element analyses indicate the crack initiation is governed by the apparent strain of the nanospring, ε', at the edge. It is revealed that the value of ε' is depends on the element configuration of thin film.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
-
北村 隆行
京都大学大学院工学研究科
-
澄川 貴志
京都大学大学院工学研究科
-
澄川 貴志
京都大学院
-
澄川 貴志
京都大学大学院
-
末田 泰介
京都大学[院]
-
北村 隆行
京都大学大学院工学研究科機械物理工学専攻
-
北村 隆行
京都大学
-
末田 泰介
京都大学
-
末田 泰介
京都大
-
澄川 貴志
京都大学
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