624 LSI 用サブミクロン Cu 薄膜の界面端はく離じん性評価

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概要

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• 社団法人日本材料学会の論文

著者

• 北村 隆行

  京都大学大学院工学研究科

• 北村 隆行

  京都大学

• 澁谷 忠弘

  京都大学大学院

• 上野 貴司

  京都大学院

• 澁谷 忠弘

  京都大学院

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