斎藤 洋子 | 日立機械研

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概要

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• 斎藤 洋子

  日立機械研

• 斎藤 洋子

  (株)日立製作所

• 佐々木 直哉

  (株)日立製作所機械研究所

• 平澤 茂樹

  (株)日立製作所 機械研究所

• 平澤 茂樹

  (株)日立製作所

• 平澤 茂樹

  神戸大 大学院工学研究科

• 佐々木 直哉

  日立機械研

• 斎藤 達之

  (株)日立製作所デバイス開発センタプロセス開発部

• 齋藤 達之

  (株)日立製作所

• 齋藤 達之

  (株)日立製作所マイクロデバイス事業部

• 宮崎 真理子

  日立機械研

• 山口 日出

  (株)日立製作所デバイス開発センタプロセス開発部

• 守谷 浩志

  日立製作所機械研究所

• 野呂 慎豪

  (株)日立製作所機械研究所

• 岩崎 富生

  日立機械研

• 鐘ヶ江 義晴

  日立機械研

• 野呂 慎吾

  日立・機械研

• 斎藤 達之

  (株)日立製作所 デバイス開発センタ プロセス開発部

• 佐々木 直哉

  (株)日立製作所日立研究所

• 佐々木 直哉

  (株)日立製作所 日立研究所

• 岩崎 富生

  (株)日立製作所機械研究所

• 丸山 裕之

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 根津 広樹

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 大橋 直史

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 大橋 直史

  株式会社日立製作所デバイス開発センタ半導体技術開発本部プロセス開発部

• 丸山 裕之

  株式会社日立製作所デバイス開発センタ半導体技術開発本部プロセス開発部

• 守谷 浩志

  (株)日立製作所 機械研究所

• 岩崎 富生

  (株)日立製作所 機械研究所

• 守谷 浩志

  日立機械研

• 加賀爪 明子

  (株)日立製作所機械研究所

• 岩崎 富生

  (株)日立製作所

• 野呂 愼豪

  日立機械研

• 根津 広樹

  日立デバイス開発センタ

• 大橋 直史

  株式会社日立製作所デバイス開発センタ

• 根津 広樹

  (株)日立製作所

• 加賀爪 明子

  (株)日立製作所日立研究所

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著作論文

• (8)半導体基板表面のミクロ溝における銅スパッタ膜リフロー現象の流動形状変化に及ぼす形状パラメータの影響の解析的検討
• 半導体基板表面のミクロ溝における銅スパッタ膜リフロー現象の流動形状変化に及ぼす形状パラメータの影響の解析的検討
• 分子動力学法によるアルミスパッタ膜の流動形状解析
• パターン付半導体ウエハ表面の回転塗布膜の乾燥収縮過程の流動形状解析
• 112 分子動力学法による炭素膜の摩耗特性解析
• 遺伝的アルゴリズムによるTersoff原子間ポテンシャルのパラメータ最適化
• 固体表面上潤滑高分子形態の分子動力学解析(オーガナイズドセッション,計算力学とその応用)
• Tersoff型原子間ポテンシャルを用いた窒素添加カーボン膜摩耗のモデリング
• 409 固体表面上潤滑高分子形態の分子動力学解析(OS05-3 表面・薄膜)(OS05 電子・原子シミュレーションに基づく材料特性評価)
• 403 分子動力学シミュレーションによる金属/ポリマー界面の密着性解析(計算力学と数値シミュレーション)
• 108 密度汎関数法による銅/シランカップリング剤界面の密着性解析(OS1-(2)オーガナイズドセッション《計算力学と数値シミュレーション》)

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