根津 広樹 | (株)日立製作所デバイス開発センタ

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概要

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• 平澤 茂樹

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  神戸大 大学院工学研究科

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著作論文

• パターン付半導体ウエハ表面の回転塗布膜の乾燥収縮過程の流動形状解析
• 多層配線構造に対するSOGプロセスの改良
• 高密度プラズマCVDを用いた埋め込み, 平坦化プロセス

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