根津 広樹 | 日立デバイス開発センタ

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概要

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• 日立デバイス開発センタの論文著者

関連著者

• 根津 広樹

  日立デバイス開発センタ

• 平澤 茂樹

  (株)日立製作所 機械研究所

• 根津 広樹

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 大橋 直史

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 大橋 直史

  株式会社日立製作所デバイス開発センタ半導体技術開発本部プロセス開発部

• 平澤 茂樹

  (株)日立製作所

• 木村 剛

  日立デバイス開発センタ

• 平澤 茂樹

  神戸大 大学院工学研究科

• 大橋 直史

  株式会社日立製作所デバイス開発センタ

• 根津 広樹

  (株)日立製作所

• 斎藤 洋子

  日立機械研

• 斎藤 洋子

  (株)日立製作所

• 丸山 裕之

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 大和田 伸郎

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 丸山 裕之

  株式会社日立製作所デバイス開発センタ半導体技術開発本部プロセス開発部

• 大和田 伸郎

  (株)日立製作所

• 池上 英治

  日立デバイス開発センタ

• 佐藤 清彦

  日立デバイス開発センタ

• 金友 正文

  日立中研

• 斉藤 俊哉

  日立半導体グループ

• 伊藤 秀文

  日立半導体グループ

• 高田 頼生

  日立半導体グループ

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著作論文

• パターン付半導体ウエハ表面の回転塗布膜の乾燥収縮過程の流動形状解析
• 多層配線構造に対するSOGプロセスの改良
• 研磨ヘッド用長寿命リテーナ材の開発
• 空気加圧方式研磨ヘッドにおける研磨不均一性の解析

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