木村 剛 | 日立デバイス開発センタ

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概要

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関連著者

• 木村 剛

  日立デバイス開発センタ

• 根津 広樹

  日立デバイス開発センタ

• 池上 英治

  日立デバイス開発センタ

• 佐藤 清彦

  日立デバイス開発センタ

• 金友 正文

  日立中研

• 斉藤 俊哉

  日立半導体グループ

• 伊藤 秀文

  日立半導体グループ

• 高田 頼生

  日立半導体グループ

著作論文

• 研磨ヘッド用長寿命リテーナ材の開発
• 空気加圧方式研磨ヘッドにおける研磨不均一性の解析

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