(8)半導体基板表面のミクロ溝における銅スパッタ膜リフロー現象の流動形状変化に及ぼす形状パラメータの影響の解析的検討
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-05-05
著者
-
斎藤 洋子
日立機械研
-
斎藤 洋子
(株)日立製作所
-
山口 日出
(株)日立製作所デバイス開発センタプロセス開発部
-
斎藤 達之
(株)日立製作所デバイス開発センタプロセス開発部
-
平澤 茂樹
(株)日立製作所 機械研究所
-
齋藤 達之
(株)日立製作所
-
齋藤 達之
(株)日立製作所マイクロデバイス事業部
-
平澤 茂樹
(株)日立製作所
-
平澤 茂樹
神戸大 大学院工学研究科
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