348 トランジスタ絶縁膜耐圧特性に及ぼす電極膜真性応力の影響

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2002-10-30

著者

• 三浦 英生

  日立機械研

• 三浦 英生

  東北大

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