211 銅メッキ膜応力測定法感度に及ぼす微細スリット構造の影響(材料力学II)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-03-13
著者
-
上田 啓貴
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
-
上田 啓貴
東北大院
-
玉川 欣治
東北大学
-
佐藤 祐規
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
玉川 欣治
東北大
-
三浦 英生
東北大
-
佐藤 祐規
東北大院
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