503 半導体用高誘電率薄膜の絶縁特性の結晶欠陥依存性(材料工学I,機素潤滑設計,材料工学,設計工学)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-29
著者
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
-
鈴木 研
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
井上 達也
東北大学第一外科
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
三浦 英生
東北大
-
井上 達也
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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鈴木 研
東北大
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井上 達也
東北大
-
三浦 英生
東北大学
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