114 半導体デバイス内部の残留ひずみ分布マルチスケール計測(学生賞III)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-03-13
著者
-
佐々木 拓也
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
上田 啓貴
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
-
鈴木 研
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
三浦 英生
東北大
-
鈴木 研
東北大
-
佐々木 拓也
東北大
-
上田 啓貴
東北大学大学院工学研究科
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