196 半導体デバイス用ハフニウム酸化膜の絶縁信頼性に及ぼす点欠陥とひずみの相互作用に関する研究(学生賞III)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-03-13
著者
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
-
鈴木 研
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
三浦 英生
東北大
-
伊藤 雄太
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
伊藤 雄太
東北大院
-
鈴木 研
東北大
-
三浦 英生
東北大学
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