エレクトロマイグレーションによる銅配線の空孔移動におよぼす残留応力の影響
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概要
著者
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横堀 壽光
東北大
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
-
横堀 壽光
東北大学大学院工学研究科
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科
-
村川 努
東北大学大学院工学研究科
-
根本 剛直
東北大学大学院工学研究科
-
根本 剛直
東北大NICHe
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