302 初期欠陥を有する薄膜のエレクトロマイグレーション及び応力誘起による原子および空孔拡散挙動解析(学生賞 I,2.学術講演)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2005-03-15

著者

• 横堀 壽光

  東北大

• 横堀 壽光

  東北大[工]

• 村川 努

  東北大学大学院工学研究科

• 村川 努

  東北大[院]

• 根本 剛直

  東北大[院]

• 根本 剛直

  東北大NICHe

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