村川 努 | 東北大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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横堀 壽光
東北大
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村川 努
東北大学大学院工学研究科
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根本 剛直
東北大NICHe
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東北大学大学院工学研究科
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東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
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根本 剛直
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著作論文
- エレクトロマイグレーションによる銅配線の空孔移動におよぼす残留応力の影響
- エレクトロマイグレーションによる銅配線の原子移動数値解析
- 302 初期欠陥を有する薄膜のエレクトロマイグレーション及び応力誘起による原子および空孔拡散挙動解析(学生賞 I,2.学術講演)