130 Cu配線ビア構造近傍のストレスマイグレーションによる空孔拡散・凝集挙動(材料力学II)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2007-03-13

著者

• 横堀 壽光

  東北大

• 横堀 壽光

  東北大学大学院工学研究科

• 伊藤 寿

  東北大院

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