113 薄膜配線用めっき銅薄膜電気機械特性の微細組織依存性(学生賞III)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-15
著者
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
-
玉川 欣治
東北大学
-
鈴木 研
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
玉川 欣治
東北大
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
三浦 英生
東北大
-
尾谷 宗之
東北大院
-
鈴木 研
東北大
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