739 0.13μm ノード MOS トランジスタのドレイン電流に及ぼす応力の影響
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-09-23
著者
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
-
清水 昭博
(株)ルネサステクノロジ
-
太田 裕之
(株)日立製作所
-
太田 裕之
日立機械研
-
熊谷 幸博
日立機械研
-
清水 昭博
日立超LSIシステムズ
-
三浦 英生
日立機械研
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科
-
三浦 英生
東北大
-
太田 裕之
日立機械研究所
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