自己整合微細フラッシュメモリ技術

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概要

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フラッシュメモリは, 高速読出し, 不揮発性, 電気的書換えが可能であり, さらに, 耐振動, 衝撃性に強いという特徴を備えた大容量のメモリである。その応用範囲には, システムバスに直結される内部記憶装置用途とインターフェースを介してシステムバスに接続される外部記憶装置がある。前者では, CPUから直接アクセスされるためデータの高速ランダム読出し性能が要求され, 後者では512バイト程度の小さな単位での高速なシリアル読出し性能が要求される。両者ともに外部単一電源動作とコストの低減が必須となっている。本稿では, 外部記憶装置用途に向け開発を進めているAND型フラッシュメモリとその微細化技術について述べる。
社団法人電子情報通信学会の論文
1997-03-06

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