光電気化学エッチングにより作製した静電駆動単結晶SiCブリッジ構造

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概要

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• 2010-06-17

著者

• 須田 淳

  京都大学工学研究科電子工学専攻

• 木本 恒暢

  京都大学工学部電気電子工学科

• 渡辺 直樹

  京都大学

• 木本 恒暢

  京都大学

• 須田 淳

  京都大学

• 木本 恒暢

  京都大学工学研究科電子工学専攻

• 木本 恒暢

  京都大学大学院工学研究科

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