分子線エピタキシ法による6H-SiC(0001)基板上へのAlN/GaN短周期超格子のコヒーレント成長

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概要

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• 2011-11-10

著者

• 須田 淳

  京都大学工学研究科電子工学専攻

• 木本 恒暢

  京都大学工学研究科

• 奥村 宏典

  京都大学工学研究科電子工学専攻

• 菊地 諒介

  京都大学工学研究科電子工学専攻

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