多形を有する半導体SiC単結晶のステップ制御エピタキシ-
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概要
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- 1995-07-10
著者
-
木本 恒暢
京都大学工学部電気電子工学科
-
松波 弘之
京都大学工学部電気電子工学教室
-
松波 弘之
京都大学工学部
-
木本 恒暢
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
木本 恒暢
京都大学工学研究科
-
木本 恒暢
京都大学大学院工学研究科
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