半球形阻止電界型エネルギー分析器を用いたシリコン電界放出電子源のエネルギー分析
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概要
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Energy distribution of n-type silicon field emitter array (Si-FEA) was measured with a hemispherical collector. Adjusting the position, the energy spread and the peak shift of the FEA were lower than those without alignment. The peak shift and wide energy spread became larger with an increase in the extraction voltage or emission current. Some possible reasons of the peak shift and energy spread were discussed.
- 日本真空協会の論文
- 2008-06-20
著者
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石川 順三
Dep. Of Electronics And Information Engineering Chubu Univ.
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
石川 順三
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
TSUJII Hirohiko
Research Center for Charged Particle Therapy, National Institute of Radiological Sciences
-
酒井 滋樹
日新イオン機器株式会社
-
木本 恒暢
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科
-
辻 博司
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
-
Tsuji Hiroshi
Department Of Electronics And Information Systems Osaka University
-
大和田 淳
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
長尾 昌善
独立行政法人産業技術総合研究所
-
Tsujii Hirohiko
Research Center For Charged Particle Therapy National Institute Of Radiological Sciences
-
酒井 善基
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
竹内 光明
独立行政法人科学技術振興機構イノベーションプラザ京都
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
Hirama Toshiyasu
Research Center For Charged Particle Therapy National Institute Of Radiological Sciences
-
Tsujii Hirohiko
バングラデシュ
-
Tsujii Hirohiko
Division Of Radiation Medicine National Institute Fo Radiological Sciences
-
長尾 昌善
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
木本 恒暢
京都大学大学院工学研究科
-
木本 恒暢
京大
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
石川 順三
京都大学大学院工学研究科
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科
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