窒化ハフニウムフィールドエミッタアレイを用いた真空トランジスタの周波数特性(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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フィールドエミッタアレイ(FEA)を用いた真空トランジスタの開発を行った。相互コンダクタンスの改善のため、約40,000-tipのゲート電極一体型窒化ハフニウムフィールドエミッタアレイ(HfN-FEA)を作製し、その能動素子としての特性を評価した。真空トランジスタはこのゲート電極一体型HfN-FEAとコレクタ電極を合わせた三極管構造である。今回報告の真空トランジスタでは、引き出し電圧58Vにおいて、コレクタ電流1.1mA、相互コンダクタンスとして0.27mS、コレクタ抵抗として2.8MΩ、電圧増幅率として750の値を得た。また、実際に交流信号を入力した場合、100kΩの負荷から電圧利得として29dB、その周波数特性としては1MHzのGB積を得た。また、等価回路からの計算により、理論的にはGB積として36MHzの値が期待できることがわかった。
- 2010-10-18
著者
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
TSUJII Hirohiko
Research Center for Charged Particle Therapy, National Institute of Radiological Sciences
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科
-
辻 博司
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
-
Tsuji Hiroshi
Department Of Electronics And Information Systems Osaka University
-
池田 啓太
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
大上 航
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
Tsujii Hirohiko
Research Center For Charged Particle Therapy National Institute Of Radiological Sciences
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
Hirama Toshiyasu
Research Center For Charged Particle Therapy National Institute Of Radiological Sciences
-
Tsujii Hirohiko
バングラデシュ
-
Tsujii Hirohiko
Division Of Radiation Medicine National Institute Fo Radiological Sciences
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科
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