シリコン基板上熱酸化膜中への銀負イオン注入で作製した銀ナノ粒子の光反射特性による評価
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概要
著者
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石川 順三
Dep. Of Electronics And Information Engineering Chubu Univ.
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辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
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本野 正徳
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
菅原 弘允
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
石川 順三
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科
-
松本 卓也
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
洗 暢俊
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
石川 順三
京都大学大学院工学研究科
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科
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