HfN薄膜からのスパッタイオンの放出角度分布測定
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2005-08-10
著者
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種村 眞幸
名古屋工業大学院工学研究科
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
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種村 榮
名古屋工業技術研究所
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科
-
種村 榮
名古屋工業大学都市循環システム工学科
-
種村 榮
名古屋工業大学大学院
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
新海 聡子
詫間電波工業高等専門学校電子制御工学科
-
川口 慎一
名古屋工業大学大学院工学研究科
-
廖 梅勇
京都大学大学院工学研究科
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種村 眞幸
名古屋工業大学都市循環システム工学科
-
種村 榮
名古屋工業大学
-
種村 眞幸
名古屋工業大学 大学院工学研究科 未来材料創成工学専攻
-
種村 眞幸
名古屋工業大学
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