イオン注入装置の帯電緩和素子への応用を目指したシリコンフィールドエミッタアレイの開発(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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イオン注入装置の帯電緩和素子としての観点から、シリコンフィールドエミッタアレイの電子放出特性を評価した。エネルギー幅は狭いが、ピークシフトがあることがわかった。高真空で100時間の動作を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-12-09
著者
-
長尾 昌善
産業技術総合研究所
-
石川 順三
Dep. Of Electronics And Information Engineering Chubu Univ.
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
中村 好志
京都大学工学研究科
-
小島 俊彦
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
池尻 忠司
日新イオン機器株式会社
-
海勢頭 聖
日新イオン機器株式会社
-
酒井 滋樹
日新イオン機器株式会社
-
長井 宣夫
日新イオン機器株式会社
-
後藤 康仁
京都大学工学研究科
-
小島 俊彦
京都大学工学研究科
-
辻 博司
京都大学工学研究科
-
石川 順三
京都大学工学研究科
-
金丸 正則
産業技術総合研究所
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科
-
辻 博司
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
-
長尾 昌善
独立行政法人産業技術総合研究所
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
Hirama Toshiyasu
Research Center For Charged Particle Therapy National Institute Of Radiological Sciences
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