メモリ機能を有するシリコンTFTで制御されたフィールドエミッタアレイ(第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))
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概要
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超高輝度フィールドエミッションディスプレイの電子源として、メモリ機能を有するポリシリコン薄膜トランジスタ(TFT)で制御されたフィールドエミッタアレイ(FEA)を開発した。製作したフィールドエミッタアレイにおいて、HfC薄膜を被覆することによるシリコンエミッタの長寿命化、アルゴンイオンエッチングとCHF_3プラズマエッチングを併用したエミッタ先鋭化プロセスの低温化、シリコンフィールドエミッタとポリシリコンTFTの集積化を実現し、電子放出のにおけるメモリ動作実証に成功した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-06-18
著者
-
長尾 昌善
産業技術総合研究所
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金丸 正剛
産業技術総合研究所
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金丸 正剛
電総研
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長尾 昌善
独立行政法人産業技術総合研究所
-
金丸 正剛
独立行政法人産業技術総合研究所
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長尾 昌善
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
金丸 正剛
産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
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