微小フィールドエミッタアレイの特性とその応用 : 情報入力
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概要
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There has been an increasing interest in vacuum microelectronics using micron-size field emitter arrays. We have fabricated triangle-shape and film-edge(comb-shape) lateral emitter arrays made of 0.3-μm-thick tungsten film. In the case of comb-shape array with a self-aligned gate, emission current of 120μA was obtained at gate voltage of 250V. In the paper, the principle of the field emission, comparison between emitters with various structure and preliminary experimental result for application to flat-panel displays are described.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1991-05-24
著者
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