表面粗さの評価/パワースペクトル密度と傾きヒストグラム
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 1999-10-10
著者
-
山本 恵彦
独立行政法人産業技術総合研究所 中央第2エレクトロニクス研究部門
-
森 尚子
日立製作所電子デバイス事業部
-
小澤 亮
筑波大学物理工学系
-
伊藤 順司
電子技術研究所
-
伊藤 順司
産業技術総合研究所
-
山本 恵彦
筑波大学物理工学系
-
矢口 富雄
日立製作所電子デバイス事業部
-
鈴木 豊
筑波大学物理工学系
-
伊藤 順司
工業技術院電子総合研究所
-
山本 恵彦
筑波大学・物理工学系
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