極微小収束電子銃の試作
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概要
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フィールドエミッタを利用した極微小収束電子銃を試作した.試作した素子はコーン型のSiフィールドエミッタに縦方向に二段の電極を設けたもので,エミッタチップ作製時のマスクを残した状態で絶縁膜と電極を交互に蒸着する事により,自己整合的に作製できる.この素子を真空中で実際に動作させ,下側の電極(ゲート電極)に数十V,上側の電極(収束電極)に数Vの電圧を印加したときに収束電子ビームが得られることが分かった.本稿では試作した極微小収束電子銃の収束特性のほか,電子ビーム露光によるビーム径の評価結果について報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-15
著者
-
當間 康
(株)荏原総合研究所
-
當間 康
荏原総研
-
當間 康
荏原総合研究所
-
清水 啓三
電子技術総合研究所
-
金丸 正剛
電総研
-
伊藤 順司
電子技術総合研究所プロセス基礎研究室
-
伊藤 順司
産業技術総合研究所
-
金丸 正剛
電子技術総合研究所
-
伊藤 順司
電子技術総合研究所
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