25pPSB-35 Si(001)表面の超純水によるエッチング現象の第一原理計算(25pPSB 表面界面・結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長分野))
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概要
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- 一般社団法人日本物理学会の論文
- 2002-03-01
著者
-
広瀬 喜久治
大阪大学
-
後藤 英和
大阪大学
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森 勇藏
大阪大学
-
當間 康
(株)荏原総合研究所
-
小畠 厳貴
(株)荏原製作所
-
森田 健一
大阪大学大学院工学研究科
-
森田 健一
大阪大学
-
上荷 広之
京都工芸繊維大学
-
佐々木 信滋
京都工芸繊維大学
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